為貫徹落實(shí)黨中央、國(guó)務(wù)院關(guān)于加強(qiáng)基礎(chǔ)研究和提升原始創(chuàng)新能力的重要戰(zhàn)略部署，國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)（以下簡(jiǎn)稱自然科學(xué)基金委）工程與材料學(xué)部擬資助“芯片亞納米級(jí)制造前沿探索”原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱原創(chuàng)項(xiàng)目）。

　　后摩爾時(shí)代芯片先進(jìn)制程工藝將邁入1 nm節(jié)點(diǎn)，亞納米級(jí)制造貫穿芯片制造工藝的全流程。然而，亞納米制造涉及從經(jīng)典連續(xù)力學(xué)行為到量子行為的跨越，存在原子間、原子與能場(chǎng)間復(fù)雜的相互作用，因此亟需發(fā)展面向未來(lái)芯片的亞納米級(jí)制造新原理與新方法。

　　一、科學(xué)目標(biāo)

　　本項(xiàng)目圍繞未來(lái)芯片制造面臨的共性基礎(chǔ)科學(xué)問(wèn)題，旨在通過(guò)揭示表界面亞納米級(jí)尺度的定域、定量、定勢(shì)調(diào)控機(jī)制，建立亞納米級(jí)精度表面與結(jié)構(gòu)的可控加工方法，為發(fā)展原子級(jí)制造開展先導(dǎo)性探索，支撐新一代芯片制造關(guān)鍵工藝和裝備能力的升級(jí)換代。

　　二、資助方向

　　（一）芯片制造過(guò)程中的亞納米級(jí)去除新原理與新方法。

　　開展多元互連異質(zhì)表面亞納米級(jí)可控去除基礎(chǔ)研究，探索亞納米級(jí)可控去除的限域作用機(jī)理及多源能量調(diào)控機(jī)制，發(fā)展外場(chǎng)調(diào)控多元異質(zhì)材料亞納米級(jí)同步去除技術(shù)，形成宏觀尺度互連異質(zhì)表面亞納米級(jí)一致去除控制的拋光工藝、技術(shù)與裝備。

　?。ǘ┬酒冗M(jìn)制程中的三維亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)構(gòu)筑新原理與新方法。

　　開展極小尺度、極高深寬比亞納米結(jié)構(gòu)精準(zhǔn)制造基礎(chǔ)研究，探究原子級(jí)表面改性與反應(yīng)調(diào)控機(jī)制，發(fā)展亞納米級(jí)表面改性的壓印模板制造與選區(qū)沉積技術(shù)，形成芯片三維互連亞納米結(jié)構(gòu)的壓印成形與原子級(jí)精準(zhǔn)沉積制造工藝與裝備。

　?。ㄈ┑谒拇雽?dǎo)體材料的亞納米級(jí)制造新原理。

　　發(fā)展金剛石等第四代半導(dǎo)體材料的“時(shí)-空-頻”多參數(shù)協(xié)同調(diào)控的激光制造等亞納米級(jí)制造新原理新技術(shù)；開展典型構(gòu)件幾何特性、物化特性的跨尺度表征，建立其性能和制造之間的關(guān)系。

　?。ㄋ模┬酒瑏喖{米級(jí)制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)與修復(fù)。

　　探索芯片亞納米級(jí)制造過(guò)程中缺陷的形成機(jī)制，研究缺陷對(duì)外部能場(chǎng)的限域反應(yīng)機(jī)制，發(fā)展超高時(shí)空精度的表面、亞表面缺陷一體化檢測(cè)技術(shù)，揭示外加能場(chǎng)作用下原子有序重構(gòu)規(guī)律，形成基于原子排布精準(zhǔn)調(diào)控的缺陷消除和修復(fù)新方法。

　　三、資助計(jì)劃

　　本原創(chuàng)項(xiàng)目資助期限為3年，申請(qǐng)書中研究期限應(yīng)填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”。計(jì)劃資助4-5項(xiàng)，平均資助強(qiáng)度200萬(wàn)/項(xiàng)。

　　四、申請(qǐng)要求

　?。ㄒ唬┥暾?qǐng)資格。

　　具有承擔(dān)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目（課題）或其他基礎(chǔ)研究經(jīng)歷的科學(xué)技術(shù)人員均可提出申請(qǐng)。

　　（二）限項(xiàng)申請(qǐng)規(guī)定。

　　1.申請(qǐng)人同年只能申請(qǐng)1項(xiàng)原創(chuàng)項(xiàng)目（含預(yù)申請(qǐng)）。

　　2.原創(chuàng)項(xiàng)目從預(yù)申請(qǐng)開始直到自然科學(xué)基金委做出資助與否決定之前，不計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍，獲資助后計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍。

　　3.應(yīng)符合《2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目指南》中對(duì)申請(qǐng)項(xiàng)目數(shù)量的限制。

　　五、申請(qǐng)程序

　?。ㄒ唬╊A(yù)申請(qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)，以國(guó)家自然科學(xué)基金網(wǎng)絡(luò)信息系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱“信息系統(tǒng)”）提交時(shí)間為準(zhǔn)，在提交時(shí)間之外提交的申請(qǐng)將不予受理。

　　2.請(qǐng)申請(qǐng)人登錄信息系統(tǒng)https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預(yù)申請(qǐng)。沒(méi)有信息系統(tǒng)賬號(hào)的申請(qǐng)人請(qǐng)向依托單位基金管理聯(lián)系人申請(qǐng)開戶。在信息系統(tǒng)“申請(qǐng)與受理”菜單下，點(diǎn)擊“原創(chuàng)項(xiàng)目預(yù)申請(qǐng)”，進(jìn)入預(yù)申請(qǐng)?zhí)顚戫?yè)面，選擇“指南引導(dǎo)類”，附注說(shuō)明選擇“芯片亞納米級(jí)制造前沿探索”，申請(qǐng)代碼1應(yīng)當(dāng)填寫工程與材料科學(xué)部相應(yīng)的申請(qǐng)代碼（“E”字母開頭），申請(qǐng)代碼2根據(jù)項(xiàng)目研究所涉及的領(lǐng)域自行選擇相應(yīng)學(xué)科申請(qǐng)代碼。以上選擇不準(zhǔn)確或未選擇的項(xiàng)目申請(qǐng)不予資助。

　　3.預(yù)申請(qǐng)主要闡述所提學(xué)術(shù)思想的原創(chuàng)性、科學(xué)性和潛在影響力，字?jǐn)?shù)控制在2000字以內(nèi)。另外，申請(qǐng)人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請(qǐng)針對(duì)的本指南所列資助方向名稱。申請(qǐng)人按照信息系統(tǒng)中的有關(guān)提示填寫預(yù)申請(qǐng)相關(guān)內(nèi)容后直接提交至自然科學(xué)基金委。

　　4.自然科學(xué)基金委受理預(yù)申請(qǐng)并組織審查。審查結(jié)果將以電子郵件形式反饋至申請(qǐng)人。

　　（二）正式申請(qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)審查通過(guò)的申請(qǐng)人，應(yīng)按照“專項(xiàng)項(xiàng)目-原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目正式申請(qǐng)書撰寫提綱”要求填寫正式申請(qǐng)書。正式申請(qǐng)的核心研究?jī)?nèi)容應(yīng)與預(yù)申請(qǐng)一致，并要求在正式申請(qǐng)書正文的第一句明確寫明申請(qǐng)項(xiàng)目所對(duì)應(yīng)的本指南所列資助方向。

　　2.除特別說(shuō)明外，每個(gè)原創(chuàng)項(xiàng)目的合作研究單位數(shù)合計(jì)不超過(guò)2個(gè)；主要參與者必須是項(xiàng)目的實(shí)際貢獻(xiàn)者。

　　3.申請(qǐng)人應(yīng)根據(jù)《國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目資金管理辦法》《項(xiàng)目資金管理有關(guān)問(wèn)題的補(bǔ)充通知》有關(guān)規(guī)定和《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表編制說(shuō)明》的具體要求，按照“目標(biāo)相關(guān)性、政策相符性、經(jīng)濟(jì)合理性”的基本原則，認(rèn)真編制《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表》。

　　4.申請(qǐng)人完成申請(qǐng)書撰寫后，在線提交電子申請(qǐng)書及附件材料。

　　5.依托單位應(yīng)對(duì)本單位申請(qǐng)人所提交申請(qǐng)材料的真實(shí)性和完整性進(jìn)行審核。原創(chuàng)項(xiàng)目采用無(wú)紙化申請(qǐng)方式，依托單位只需在線確認(rèn)并及時(shí)提交電子申請(qǐng)書及附件材料，并在截止時(shí)間后24小時(shí)內(nèi)在線提交項(xiàng)目申請(qǐng)清單，無(wú)需報(bào)送紙質(zhì)申請(qǐng)書。項(xiàng)目獲批準(zhǔn)后，將申請(qǐng)書的紙質(zhì)簽字蓋章頁(yè)裝訂在《資助項(xiàng)目計(jì)劃書》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應(yīng)與信息系統(tǒng)中的電子申請(qǐng)書保持一致。

　　6.自然科學(xué)基金委項(xiàng)目材料接收工作組負(fù)責(zé)接收申請(qǐng)材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯(lián)系方式如下：北京市海淀區(qū)雙清路83號(hào)國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)項(xiàng)目材料接收工作組（行政樓101房間），聯(lián)系電話：010-62328591。

　　六、注意事項(xiàng)

　?。ㄒ唬┵Y助項(xiàng)目信息公布。

　　自然科學(xué)基金委將在官方網(wǎng)站公布資助原創(chuàng)項(xiàng)目基本信息。

　?。ǘ╉?xiàng)目實(shí)施保障。

　　原創(chuàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人應(yīng)將主要精力投入原創(chuàng)項(xiàng)目的研究中；依托單位應(yīng)加強(qiáng)對(duì)原創(chuàng)項(xiàng)目實(shí)施的監(jiān)督、管理和服務(wù)，減輕項(xiàng)目負(fù)責(zé)人不必要的負(fù)擔(dān)，為項(xiàng)目研究提供必要的制度和條件保障。

　?。ㄈ┢渌?。

　　原創(chuàng)項(xiàng)目申請(qǐng)與資助不設(shè)復(fù)審環(huán)節(jié)。

　　自然科學(xué)基金委將把相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人項(xiàng)目執(zhí)行情況和評(píng)審專家的評(píng)審情況計(jì)入信譽(yù)檔案。

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　　1.填報(bào)過(guò)程中遇到的技術(shù)問(wèn)題，可聯(lián)系自然科學(xué)基金委信息中心協(xié)助解決，聯(lián)系電話：010-62317474。

　　2.其他問(wèn)題可咨詢工程與材料科學(xué)部綜合與戰(zhàn)略規(guī)劃處，電話：010-62326887。